Helíum lekapróf
Meginregla
Helíum er gas með mjög litla mólþunga og sterka gegndræpi. Helíumlekaprófið notar hánæmisgreiningaraðgerð helíum massagreiningarinnar til að ákvarða þéttingarafköst lokans með því að greina hvort það sé helíumleka utan lokans. Þegar lokinn er fylltur með helíum, ef það er lekarás í lokanum, mun helíum seytla úr lekanum að utan lokans. Helíum massagreining lekaskynjari getur náð mjög litlu magni af helíum lekamerkjum og þar með náð mikilli nákvæmni greiningar á lokun lokans.
Aðgerðarstig
Undirbúningur
Settu lokann í vel innsigluðu prófílát eða kerfi til að tryggja að tengingin milli lokans og prófunarumhverfisins sé þétt og það er engin viðbótar lekaslóð. Til dæmis, í sérstökum rannsóknarstofu fyrir helíum leka, fyrir nákvæman lítinn loki, settu hann í sérstakan innsiglað prófkassa og tengdu hann við helíumgjafann og helíum massagreiningarleka lekaskynjara í gegnum leiðslu.
Kvarða og hita helíum massagreiningarleka lekaskynjara til að setja það í venjulegt starfandi ástand. Kvörðunarferlið er lykilskref til að tryggja að lekaskynjari geti greint helíumleka nákvæmlega og þarf að stjórna því stranglega í samræmi við rekstrarleiðbeiningar tækisins.
Helíumfylling
Uppblásið lokann með helíum við ákveðinn þrýsting. Stilla ætti helíumfyllingarþrýstinginn með sanngjörnum hætti eftir gerð, stærð og prófunarkröfum lokans og er almennt framkvæmdur við lægri þrýsting til að forðast skemmdir á lokanum eða hafa áhrif á eðlilega starfsárangur hans. Til dæmis, fyrir meðalstóran loki, er hægt að stilla helíumfyllingarþrýstinginn á 0.5 - 1 bar.
Meðan á helíumfyllingarferlinu stendur, vertu viss um að helíum fylli alla hluta lokans jafnt. Helíum er hægt að dreifa með því að hrista eða titra lokann á viðeigandi hátt. Á sama tíma skaltu fylgjast með því að stjórna hraða helíumfyllingar til að forðast óhóflegar þrýstingsveiflur eða aðrar óvæntar aðstæður af völdum of hratt fyllingar.
Uppgötva leka
Notaðu helíum massa litrófsmælisleka skynjara til að skanna og greina að utan á lokanum. Rekstraraðilinn færir lekaskynjara rannsakann hægt meðfram yfirborði lokans til að tryggja að allir mögulegir lekar séu þaknir, svo sem þéttingaryfirborð, loki stilkur, loki líkami tenging osfrv.
Þegar helíum massa litrófsmælir lekaskynjari skynjar helíumleka mun tækið senda merki og sýna lekahraðann. Stærð lekahraða endurspeglar alvarleika lokalekans, sem er almennt gefinn upp með tilliti til rúmmáls eða massa helíums sem lekið er á hverja einingartíma. Samkvæmt mismunandi atburðarásum og stöðluðum kröfum eru skýrar reglugerðir um leyfilegan lekahraða lokana. Sem dæmi má nefna að leyfilegur lekahraði lokanna sem notaðir eru í sumum háum hálfleiðara framleiðslubúnaði getur verið mjög lágt, venjulega krafist að vera undir 10⁻⁹ pa ・ m³/s.
Ef leki greinist er nauðsynlegt að ákvarða frekar staðsetningu leka. Lekapunkturinn er hægt að staðsetja nákvæmlega með því að beita litlu magni af helíum á mismunandi hluta loki yfirborðsins og nota síðan lekaskynjara til að greina aftur og fylgjast með breytingunni á lekahraða.
Sviðsmynd umsóknar
Helíum lekaprófið er hentugur fyrir lokar með mjög miklum þéttingarkröfum, svo sem í hátækni sviðum eins og kjarnorku, geimferða og hálfleiðara. Á sviði kjarnorku þurfa lokar í aðalrásarkerfi kjarnorkuveranna að standast háan hita, háan þrýsting og geislavirkt umhverfi og hafa afar miklar þéttingarkröfur. Allur lítill leki getur valdið alvarlegum öryggisslysum. Þess vegna er helíum lekapróf notað til að tryggja algeran þéttingu lokans. Á sviði geimferða verða lokar í eldsneytis og oxunarkerfum eldflaugar vélar að tryggja núll leka til að tryggja markaðsöryggi og stöðugan árangur eldflaugarinnar. Helium lekaprófið er mikilvæg leið til að greina þéttingu þessara lokana. Í hálfleiðara framleiðsluiðnaðinum er krafist mikils hreinar lofttegunda í framleiðsluferlinu. Minniháttar lekar í lokum menga gasið og hafa áhrif á gæði flísanna. Þess vegna eru helíum lekapróf víða notuð til að tryggja innsiglunarafköst lokanna og uppfylla strangar kröfur framleiðsluferlisins.
