Tómarúmlokinn er lykilbúnaður fyrir vökvastjórnun í lofttæmisumhverfi með nákvæmni þéttingu og drifstýringu. Hægt er að skipta vinnubúnaði þess í eftirfarandi kjarnaeiningar:
1. Kjarnavinnubúnaður
Aðalskipting
Að tileinka sér allt málm belg öflugt innsigli (í stað hefðbundinnar pökkunar) stækka belgin og dragast saman þegar loki stilkurinn færist til að viðhalda loftþéttleika tómarúmhólfsins og lekahlutfallið er minna en eða jafnt og 1 × 10⁻¹⁰ Pa · m³/s.
Þegar hliðinu er lokað myndar það sameinda sem passar við spegilinn sem er lagður af loki (RA minna en eða jafnt og 0,2 μm) og er í samvinnu við Copper álþéttingarhringinn til að auka snertiþéttingaráhrif.
Drive Control
Manual Type: Worm gírskipting, belgin er ekið upp og niður með því að snúa handhjólinu og togið er minna en eða jafnt og 15n · m4.
Rafmagns gerð: Stepper mótor drif, staðsetningarnákvæmni 0,01mm, hentugur fyrir hálfleiðara gifaflutningskerfi.
Pneumatic Type: Þjappað loft rekur strokka stimpilinn, viðbragðstíminn er<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
Pressure jafnvægi
Lokalíkaminn er búinn KF16 hjálpar loftútdráttargátt. Áður en opnuð er og lokað er sjálfstæð tómarúmdæla notuð til að koma jafnvægi á þrýstingsmuninn milli lokarholsins og kerfisins (ΔP ＜ 10Pa) til að koma í veg fyrir truflun á loftstreymi.
2. Dæmigerður vinnustaður
| Háttur | Aðgerðarferli | Umsókn |
|---|---|---|
| Innilokað | Hliðið þrýstir lokið sæti til að mynda tvöfalda innsigli (Bellows + snertiflöt) | Ögn eldsneytisgjöf geisla rör |
| Rennslisreglugerð | Lokaplataopið er stjórnað 10%-90%og línuleg flæðisstýring er náð í gegnum V-laga inngjöf | Gassprautun fyrir lofttæmishúðunarferli |
| Quick Cut | Pneumatic Actuator kallar á neyðar lokun, viðbragðstími minni en eða jafnt og 0,3s | Neyðarástand kjarnorkusvilla. |
| Viðhald þrýstings | Tengt við tómarúmmælinn er lokunaropið sjálfkrafa fínstillt til að viðhalda settu tómarúmprófi (± 0,5Pa) | Sýmingarhólf í geimumhverfi |
3. Efnis- og ferliseinkenni
Valve Body: 316L Ultra-Low Carbon Ryðfríu stáli raflausn fægja, draga úr gas aðsogsyfirborði um meira en 60%
SEALING COMPONENTS: Hastelloy C-276 Bellows (ónæmur fyrir 100.000 þreytuferlum) + súrefnislaus koparþéttingarhringur (Vickers Hardness HV80)
Surface meðferð: Þétting yfirborðs jóns sputtering títanhúðun (þykkt 2μm), núningstuðull minnkaður í 0,08.
4. Samanburður á umsóknum
| Reitur | Lokategund | Tómarúm kröfur | Sérþarfir |
|---|---|---|---|
| Hálfleiðara framleiðslu | Rafmagnshá tómarúmloki | Minna en eða jafnt og 1 × 10⁻⁷ pa | Ónæmur fyrir 150 gráðu bakstur, losun agna |
| Geimfarsprófun | Pneumatic fljótur lokunarventill | Minna en eða jafnt og 1 × 10⁻⁵ pa | Titringsþol (20-2000Hz) |
| Synchrotron geislun | Vökvakældur hliðarloki | Minna en eða jafnt og 1 × 10⁻⁹ pa | Fljótandi köfnunarefniskælisjakki (-196 gráðu) |
| Kjarnasamruna tæki | Geislunarþolinn einangrunarventill | Minna en eða jafnt og 1 × 10⁻⁴ pa | Neutron geislunarþol (10¹⁹ N/cm²) |
5. Færibreytur árangurs
Hitastigssvið: -269 gráðu (fljótandi helíum kælingu gerð) að 450 gráðu (gerð hitastigs ál)
Þvermál svið: Micro loki φ6mm til stórs lofttæmisventils φ1200mm
Lífsvísitala: Bellows Seal samsetningin meiri en eða jafnt og 50.000 opnunar- og lokunarlotan